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服務項目
介電層塗佈
在完成前段製程的晶圓(wafer)上,塗佈一層介電層(Dielectric layer)材料,使用的材料包括: BCB 或是 Polyimide (PI)。該介電層可作為半導體元件表面的保護層或元件微電路間的隔絕層。
頎邦科技提供6”、8”、12”晶圓的介電層塗佈服務。
BCB / PI Process Flow
4.1 BCB Coating
4.2 PI Coating
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