壓電材料如 LiTaO3,LiNbO3,SiO2 ,壓電材料其晶體的原子排列因不對稱的(lacks a center of symmetry)晶體受到壓力時,外形會變化晶體表面出現positive charge和negative charge。適用於RF相關應用產品SAW,BAW, FBAR filter。
玻璃基板如微機電系統製造中使用的超薄化玻璃載材,如硼矽玻璃。
LED用藍寶石基板製成氮化鎵(GaN)磊晶發光層的主要基板材質。藍光 LED 晶粒的長晶材料的藍寶石基板是由藍寶石晶棒切割而成,藍寶石晶棒是將氧化鋁(Al2O3)的單晶作為長晶的基礎,採拉晶法培育生長,培育方法因各家廠商參數不同而有不同純度。